Ionisuihkuanalyysien soveltuvuus Fabryn ja Perot ́n interferometrin ohutkalvojen karakterisointiin
| dc.contributor.author | Parttimaa, Jarno | |
| dc.date.accessioned | 2024-10-29T23:20:44Z | |
| dc.date.available | 2024-10-29T23:20:44Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.uri | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97829 | |
| dc.format.extent | 43 lehteä | |
| dc.language.iso | fi | |
| dc.subject.other | karakterisointi | |
| dc.title | Ionisuihkuanalyysien soveltuvuus Fabryn ja Perot ́n interferometrin ohutkalvojen karakterisointiin | |
| dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:jyu-202410306681 | |
| dc.type.ontasot | Pro gradu | fi |
| dc.type.ontasot | Master's thesis | en |
| dc.contributor.laitos | Fysiikan laitos | |
| dc.contributor.yliopisto | University of Jyväskylä | en |
| dc.contributor.yliopisto | Jyväskylän yliopisto | fi |
| dc.rights.copyright | This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited. | en |
| dc.rights.copyright | Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty. | fi |
| dc.rights.accesslevel | restrictedAccess | fi |
| dc.contributor.oppiainekoodi | 402 | |
| dc.subject.yso | lämpökäsittely | |
| dc.subject.yso | analyysimenetelmät | |
| dc.subject.yso | alkuaineet | |
| dc.subject.yso | ohutkalvot | |
| jyx.subject.uri | http://www.yso.fi/onto/yso/p4407 | |
| jyx.subject.uri | http://www.yso.fi/onto/yso/p6085 | |
| jyx.subject.uri | http://www.yso.fi/onto/yso/p5092 | |
| jyx.subject.uri | http://www.yso.fi/onto/yso/p16644 | |
| dc.rights.accessrights | Aineistoon pääsyä on rajoitettu tekijänoikeussyistä. Aineisto on luettavissa Jyväskylän yliopiston kirjaston arkistotyöasemalta. Ks. https://kirjasto.jyu.fi/kokoelmat/arkistotyoasema. | fi |
| dc.rights.accessrights | This material has a restricted access due to copyright reasons. It can be read at the workstation at Jyväskylä University Library reserved for the use of archival materials: https://kirjasto.jyu.fi/collections/archival-workstation. | en |
Files in this item
This item appears in the following Collection(s)
-
Pro gradu -tutkielmat [29545]