Ionisuihkuanalyysien soveltuvuus Fabryn ja Perot ́n interferometrin ohutkalvojen karakterisointiin
Authors
Date
2014Access restrictions
This material has a restricted access due to copyright reasons. It can be read at the workstation at Jyväskylä University Library reserved for the use of archival materials: https://kirjasto.jyu.fi/collections/archival-workstation.
Copyright
This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Related items
Showing items with similar title or keywords.
-
Hiukkasherätteinen röntgen-emissio ohutkalvojen analysoinnissa
Käyhkö, Marko (2013)Tässä tutkielmassa tavoitteena oli analysoida ohutkalvoja hiukkasherätteisellä röntgen-emissiolla (PIXE) käyttäen apuna takaisinsirontaa. Erityisesti tavoitteena oli selvittää pystytäänkö PIXEllä saamaan lisätietoa ... -
Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
Kääriäinen, Jussi (2022)XRF-mittausten soveltuvuutta ja röntgenlähteen kiihdytysjännitteen sekä virran vaikutusta tutkittiin ohutkalvojen karakterisointiin. Käytössä oli 4 W röntgenlähde, jonka maksimi kiihdytysjännite oli 30 kV. Kuuden eripaksuisen ... -
Ohutkalvojen tunnistaminen atomivoimamikroskoopilla määritetyn kimmokertoimen avulla
Valjakka, Niklas (2023)Tässä työssä tutkin aiemmin vähän tutkittua menetelmää tutkia monikerroksisia ohutkalvoja. Menetelmä perustuu AFM:n avulla näytteestä mitattuun voimakäyrätietoon. Mittaukset koostuivat näytteiden valmistamisesta, sekä ... -
Thermomechanical properties of aluminum oxide thin films made by atomic layer deposition
Ylivaara, Oili M. E.; Langner, Andreas; Ek, Satu; Malm, Jari; Julin, Jaakko; Laitinen, Mikko; Ali, Saima; Sintonen, Sakari; Lipsanen, Harri; Sajavaara, Timo; Puurunen, Riikka L. (American Vacuum Society, 2022)In microelectromechanical system devices, thin films experience thermal processing at temperatures some cases exceeding the growth or deposition temperature of the film. In the case of the thin film grown by atomic layer ... -
Bradavidiinista johdetun bradpeptidin karakterisointi ja soveltuvuus affiniteettikromatografiaan
Grönroos, Toni (2012)Bradavidiini on Bradyrhizobium japonicum bakteerista löydetty avidiinin ja streptaviidiinin kaltainen proteiini. Avidiini on peräisin kanasta ja streptavidiini Streptomyces avidinii bakteerista. Bradavidiinin aminohapposekvenssi ...