University of Jyväskylä | JYX Digital Repository

  • English  | Give feedback |
    • suomi
    • English
 
  • Login
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
View Item 
  • JYX
  • Opinnäytteet
  • Pro gradu -tutkielmat
  • View Item
JYX > Opinnäytteet > Pro gradu -tutkielmat > View Item

Hiukkasherätteinen röntgen-emissio ohutkalvojen analysoinnissa

Thumbnail
View/Open
3.5Mb

Downloads:  
Show download detailsHide download details  
Authors
Käyhkö, Marko
Date
2013
Discipline
FysiikkaPhysics

 
Tässä tutkielmassa tavoitteena oli analysoida ohutkalvoja hiukkasherätteisellä röntgen-emissiolla (PIXE) käyttäen apuna takaisinsirontaa. Erityisesti tavoitteena oli selvittää pystytäänkö PIXEllä saamaan lisätietoa tilanteissa, joissa pelkän takaisinsironnan avulla ei saada tarkkaa tietoa. Tähän tarkoitukseen tutkittiin kahta eri tapausta: lähekkäisten alkuaineiden suhteen määritys ja pienten epäpuhtauksien määritys. Lähekkäisten alkuaineiden analysoinnissa käytettiin GeCu-näytettä. Täs- sä tapauksessa 1,5 MeV:n takaisinsirontaspektristä ei pystytty erottamaan germaniumin ja kuparin piikkejä, mutta se pystyttiin tekemään 3,0 MeV:n energialla. PIXE-mittauksissa germaniumin ja kuparin piikit pystyttiin erottamaan erittäin selkeästi ja lisäksi pystyttiin havaitsemaan ja tunnista- maan rautaepäpuhtaus, jota ei pystytty havaitsemaan takaisinsironnan avulla. Toisaalta germaniu- min ja kuparin suhteen määritys onnistui paremmin käyttäen takaisinsirontaa. Takaisinsironnan ja PIXEn havaitsemiskynnyksiä laskettiin teoreettisesti tutkimuksessa käytetyille mittauslaitteistoille. Havaittiin, että PIXEn avulla saadaan noin kymmenen kertaa parempi havaitsemiskynnys alkuai- neille 20 < Z < 40. PIXElle saatu havaitsemiskynnys kyseisellä välillä oli (0,01-0,02)*1e15 atomia/cm2 ja takaisinsironnalle se oli (10-1)*1e15 atomia/cm2 . ...
Keywords
PIXE Hiukkasherätteinen röntgen-emissio RBS takaisinsironta SEM-EDS ohutkalvo sironta ohutkalvot emissio
URI

http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201312192849

Metadata
Show full item record
Collections
  • Pro gradu -tutkielmat [21161]
  • Browse materials
  • Browse materials
  • Articles
  • Conferences and seminars
  • Electronic books
  • Historical maps
  • Journals
  • Tunes and musical notes
  • Photographs
  • Presentations and posters
  • Publication series
  • Research reports
  • Research data
  • Study materials
  • Theses

Browse

All of JYXCollection listBy Issue DateAuthorsSubjectsPublished inDepartmentDiscipline

My Account

Login

Statistics

View Usage Statistics
  • How to publish in JYX?
  • Self-archiving
  • Publish Your Thesis Online
  • Publishing Your Dissertation
  • Publication services

Open Science at the JYU
 
Data Protection Description

Accessibility Statement
Open Science Centre