Tunneliliitoksen valmistukseen liittyviä ohutkalvojen paksuusmittauksia
Authors
Date
1993Access restrictions
This material has a restricted access due to copyright reasons. It can be read at the workstation at Jyväskylä University Library reserved for the use of archival materials: https://kirjasto.jyu.fi/collections/archival-workstation.
Copyright
This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Related items
Showing items with similar title or keywords.
-
Hiukkasherätteinen röntgen-emissio ohutkalvojen analysoinnissa
Käyhkö, Marko (2013)Tässä tutkielmassa tavoitteena oli analysoida ohutkalvoja hiukkasherätteisellä röntgen-emissiolla (PIXE) käyttäen apuna takaisinsirontaa. Erityisesti tavoitteena oli selvittää pystytäänkö PIXEllä saamaan lisätietoa ... -
Röntgenfluoresenssimittausten optimointi ohutkalvojen karakterisointiin
Kääriäinen, Jussi (2022)XRF-mittausten soveltuvuutta ja röntgenlähteen kiihdytysjännitteen sekä virran vaikutusta tutkittiin ohutkalvojen karakterisointiin. Käytössä oli 4 W röntgenlähde, jonka maksimi kiihdytysjännite oli 30 kV. Kuuden eripaksuisen ... -
Ohutkalvojen tunnistaminen atomivoimamikroskoopilla määritetyn kimmokertoimen avulla
Valjakka, Niklas (2023)Tässä työssä tutkin aiemmin vähän tutkittua menetelmää tutkia monikerroksisia ohutkalvoja. Menetelmä perustuu AFM:n avulla näytteestä mitattuun voimakäyrätietoon. Mittaukset koostuivat näytteiden valmistamisesta, sekä ... -
Optisten ohutkalvojen monikerrossovelluksia sekä metallioksidikalvojen valmistus höyrystyksellä
Pikkarainen, Jyrki (1992) -
Ionisuihkuanalyysien soveltuvuus Fabryn ja Perot ́n interferometrin ohutkalvojen karakterisointiin
Parttimaa, Jarno (2014)