Show simple item record

dc.contributor.authorKonttinen, Mikko
dc.date.accessioned2014-01-07T04:33:54Z
dc.date.available2014-01-07T04:33:54Z
dc.date.issued2013
dc.identifier.otheroai:jykdok.linneanet.fi:1290812
dc.identifier.urihttps://jyx.jyu.fi/handle/123456789/42757
dc.description.abstractEntistä pienemmät puolijohderakenteet vaativat analyysityökaluilta erittäin hyvää herkkyyttä, jonka on myös kehityttävä rakenteiden vaatimusten mukaisesti -- muussa tapauksessa kehitys voi hidastua hyvin paljon ilman kunnollista tietoa valmistusmenetelmien tuloksista. Yksi oleellinen osa rakenteiden analysoimisessa on tieto seostusatomien ja varauksenkuljettajien pitoisuuksista rakenteen syvyyssuunnassa, eli syvyysjakauma. Vuosikymmeniä syvyysjakauman mittaukseen on käytetty leviämisvastusmittausta (SRP, engl. Spreading Resistance Profiling), ja nelipisteanturimittausta (4PP, engl. Four Point Probe) on käytetty kuvaamaan koko syvyysjakauman vaikutusta sähköisessä kontaktissa. Molempien tekniikoiden mittausherkkyydet ovat oleellisesti riippuvaisia antureiden koosta. Tässä työssä verrataan mikrokokoistettujen SRP- ja 4PP-tekniikoiden -- M2PP ja M4PP -- tuloksia toisiinsa ja perinteiseen SRP-tekniikkaan. M4PP-anturi on niin pieni kooltaan, että myös sillä voidaan mitata syvyysjakauma. Viidestä erilaisesta, korkeasti seostetusta ja ohuesta germanium-puolijohderakenteesta mitattiin vastussyvyysjakaumat, jonka pohjalta osasta laskettiin myös varauksenkuljettajien syvyysjakaumat. M2PP-mittaukset olivat ensimmäisiä SRP-mittauksia käyttäen M4PP-anturia, ja ne sekä M4PP-mittaukset suoritettiin käyttäen Imec-tutkimuslaitoksen MicroRSP M-150 -mittauslaitetta (Capres A/S). M4PP-mittauksissa käytettiin 1,5- ja 10 µm-antureita, kun taas M2PP-mittauksissa ainoastaan 10 µm-anturia. Mittaustulosten perusteella M2PP- ja M4PP-antureiden koolla on merkitystä. M2PP-mittauksissa esiintyvästä kohinaongelmasta huolimatta mittaukset olivat huomattavasti herkempiä perinteisen SRP-mittaukseen verrattuna. M4PP-tekniikalla saadut tulokset olivat samanlaisia kuin vastaavat SRP-tekniikan tulokset, mutta mittauksen suoritus ja sen analysointi olivat huomattavasti helpompia ja yksinkertaisempia suorittaa. Näiden lisäksi mittauksissa tuli esille viitteitä germaniumin pintatilojen tunnetusta ja suuresta merkityksestä. Pintatilojen vaikutus voi huomattavasti hankaloittaa analysointia molempien tekniikoiden tapauksessa.fi
dc.format.extent1 verkkoaineisto (67 sivua)
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isofin
dc.rightsThis publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.en
dc.rightsJulkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.fi
dc.subject.otherleviämisvastusmittaus
dc.subject.otherleviämisvastus
dc.subject.othernelipisteanturimittaus
dc.subject.otherneliövastus
dc.subject.otherSRP
dc.subject.other4PP
dc.subject.otherM2PP
dc.subject.otherM4PP
dc.subject.otherspreading resistance profiling
dc.subject.otherfour point probe
dc.subject.othersyvyysjakauma
dc.subject.othervarauksenkuljettajien syvyysjakauma
dc.titleMikrokokoistetut leviämisvastus- ja nelipisteanturimittaukset puolijohderakenteen varauksenkuljettajien syvyysjakaumien määrittämisessä
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:jyu-201401071024
dc.type.dcmitypeTexten
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.ontasotMaster’s thesisen
dc.contributor.tiedekuntaMatemaattis-luonnontieteellinen tiedekuntafi
dc.contributor.tiedekuntaFaculty of Sciencesen
dc.contributor.laitosFysiikan laitosfi
dc.contributor.laitosDepartment of Physicsen
dc.contributor.yliopistoUniversity of Jyväskyläen
dc.contributor.yliopistoJyväskylän yliopistofi
dc.contributor.oppiaineFysiikkafi
dc.contributor.oppiainePhysicsen
dc.date.updated2014-01-07T04:33:55Z
dc.rights.accesslevelopenAccessfi
dc.type.publicationmasterThesis
dc.contributor.oppiainekoodi4021
dc.subject.ysopuolijohteet
dc.subject.ysomittausmenetelmät
dc.subject.ysoleviämisvastusmittaus
dc.subject.ysoleviämisvastus
dc.subject.ysonelipisteanturimittaus
dc.subject.ysomittaus
dc.format.contentfulltext
dc.type.okmG2


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record