Show simple item record

dc.contributor.advisorJohansson, Andreas
dc.contributor.authorHiltunen, Vesa-Matti
dc.date.accessioned2016-04-27T14:43:26Z
dc.date.available2016-04-27T14:43:26Z
dc.date.issued2016
dc.identifier.otheroai:jykdok.linneanet.fi:1526482
dc.identifier.urihttps://jyx.jyu.fi/handle/123456789/49582
dc.description.abstractTämän pro gradu -tutkielman aiheena oli tutkia itsekantavien grafeeninäytteiden valmistusta. Grafeeni syntetisoitiin kaasufaasikasvatuksella ilmakehän paineessa kupariohutkalvoille. Kupariohutkalvot valmistattiin käyttämällä elektronisuihkuhöyrystystä. Projektin aikana synteesiprosessia parannettiin optimoimalla synteesiparametreja. Syntetisoinnin jälkeen grafeeninäytteet siirrettiin piinitridikalvoille, joihin oli valmistettu reikiä. Viimeinen vaihe siirrossa on PMMA tukikerroksen poisto grafeenin päältä, jota tutkittiin käyttämällä kahta eri menetelmää. Näistä ensimmäinen menetelmä oli lämpökäsittely ja toinen kriittisen pisteen kuivaus PMMA:n asetoniin liuottamisen jälkeen. Näytteet kuvannettiin käyttämällä pyyhkäisyelektronimikroskopiaa, läpäisyelektronimikroskopiaa sekä optista mikroskopiaa. Lisäksi näytteet karakterisoitiin käyttämällä Raman spektroskopiaa. Työn tuloksena alun synteesiongelmien jälkeen itsekantavaa grafeenia valmistettiin onnistuneesti. Eri PMMA:n poistomenetelmistä lämpökäsittely toimi monikerroksiselle grafeenille, mutta yksikerroksinen grafeeni ei selvinnyt käsittelystä. Kriittisen pisteen kuivaus toimi molemmissa tapauksissa, mutta jätti epäpuhtauksia, joten parhaaksi menetelmäksi selvisi PMMA: n poisto käyttämällä kriittisen pisteen kuivausta ja näytteiden puhdistus tämän jälkeen käyttämällä lämpökäsittelyä.fi
dc.description.abstractIn this Master’s thesis the production of suspended graphene devices was studied. Graphene was synthesized using atmospheric pressure chemical vapor deposition onto copper thin films that were fabricated using electron beam evaporation. During the project, the synthesis process was improved by optimizing synthesis parameters. After synthesis graphene samples were transferred onto silicon nitride membranes, which had openings fabricated to them. The last step of the transfer was removal of PMMA support layer from graphene, which was studied using two different methods. First of these was thermal annealing and the second critical point drying after dissolving the PMMA with acetone. Samples were imaged using scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and optical microscopy. Further characterization was done with Raman spectroscopy. As for results, after some struggle with synthesis, suspended graphene was successfully fabricated. As for different PMMA cleaning methods, thermal annealing worked with multilayer graphene, but caused single layer graphene to break. Critical point drying worked in both cases, but left residues, so best method ended up being PMMA removal by critical point drying followed by cleaning of graphene by annealing.en
dc.format.extent1 verkkoaineisto (66 s.)
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoeng
dc.rightsJulkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.fi
dc.rightsThis publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.en
dc.subject.othergraphene
dc.subject.otherCVD
dc.subject.otherRaman spectroscopy
dc.subject.othersuspended graphene
dc.titleSuspended graphene device fabrication
dc.identifier.urnURN:NBN:fi:jyu-201604272345
dc.type.ontasotPro gradu -tutkielmafi
dc.type.ontasotMaster’s thesisen
dc.contributor.tiedekuntaMatemaattis-luonnontieteellinen tiedekuntafi
dc.contributor.tiedekuntaFaculty of Sciencesen
dc.contributor.laitosFysiikan laitosfi
dc.contributor.laitosDepartment of Physicsen
dc.contributor.yliopistoUniversity of Jyväskyläen
dc.contributor.yliopistoJyväskylän yliopistofi
dc.contributor.oppiaineSoveltava fysiikkafi
dc.contributor.oppiaineApplied Physicsen
dc.date.updated2016-04-27T14:43:27Z
dc.rights.accesslevelopenAccessfi
dc.type.publicationmasterThesis
dc.contributor.oppiainekoodi4023
dc.subject.ysografeeni
dc.subject.ysoohutkalvot
dc.format.contentfulltext
dc.type.okmG2


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record