Show simple item record

dc.contributor.authorPuttaraksa, Nitipon
dc.date.accessioned2011-10-21T08:10:04Z
dc.date.available2011-10-21T08:10:04Z
dc.date.issued2011
dc.identifier.isbn978-951-39-4267-0
dc.identifier.otheroai:jykdok.linneanet.fi:1185836
dc.identifier.urihttps://jyx.jyu.fi/handle/123456789/36839
dc.format.extentverkkoaineisto (136 sivua).
dc.language.isoeng
dc.publisherUniversity of Jyväskylä
dc.relation.ispartofseriesResearch report / Department of Physics, University of Jyväskylä
dc.relation.isversionofISBN 978-951-39-4266-3
dc.subject.otherionisuihkulitografia
dc.titleDevelopment of MeV ion beam lithography technique for microfluidic applications
dc.typeDiss.fi
dc.identifier.urnURN:ISBN:978-951-39-4267-0
dc.type.dcmitypeTexten
dc.type.ontasotVäitöskirjafi
dc.type.ontasotDoctoral dissertationen
dc.contributor.tiedekuntaMatemaattis-luonnontieteellinen tiedekuntafi
dc.contributor.tiedekuntaFaculty of Mathematics and Scienceen
dc.contributor.yliopistoUniversity of Jyväskyläen
dc.contributor.yliopistoJyväskylän yliopistofi
dc.contributor.oppiaineFysiikkafi
dc.relation.issn0075-465X
dc.relation.numberinseriesno. 3/2011
dc.rights.accesslevelopenAccessfi
dc.subject.ysoionit


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record