Fabrication of a suspended carbon nanotube nanomechanical device via e-beam lithography

dc.contributor.author	Pajunen, Mikael
dc.date.accessioned	2024-10-29T23:19:51Z
dc.date.available	2024-10-29T23:19:51Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.uri	https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/97823
dc.format.extent	5, 83 lehteä
dc.language.iso	fi
dc.rights	In Copyright	en
dc.title	Fabrication of a suspended carbon nanotube nanomechanical device via e-beam lithography
dc.type	master thesis
dc.identifier.urn	URN:NBN:fi:jyu-202410306675
dc.type.ontasot	Pro gradu	fi
dc.type.ontasot	Master's thesis	en
dc.contributor.laitos	Fysiikan laitos
dc.contributor.yliopisto	Jyväskylän yliopisto	fi
dc.contributor.yliopisto	University of Jyväskylä	en
dc.type.coar	http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
dc.rights.accesslevel	restrictedAccess	fi
dc.type.publication	masterThesis
dc.contributor.oppiainekoodi	402
dc.rights.url	https://rightsstatements.org/page/InC/1.0/
dc.rights.accessrights	Aineistoon pääsyä on rajoitettu tekijänoikeussyistä. Aineisto on luettavissa Jyväskylän yliopiston kirjaston arkistotyöasemalta. Ks. https://kirjasto.jyu.fi/kokoelmat/arkistotyoasema.	fi
dc.rights.accessrights	This material has a restricted access due to copyright reasons. It can be read at the workstation at Jyväskylä University Library reserved for the use of archival materials: https://kirjasto.jyu.fi/collections/archival-workstation.	en

Samankaltainen aineisto