FIB-tekniikoiden sovellukset
Tekijät
Päivämäärä
2019Tekijänoikeudet
Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten. Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty.
Ionimikroskopia (FIB) on pyyhkäisyelektronimikroskopiaa muistuttava nanoskaalan
kuvantamis- ja työstämismenetelmä, joka käytää kevyiden elektronien sijasta massiivisia ioneja. Käsittelen tässä tutkielmassa FIB-laitteistojen kehityskaaren ensimmäisen
sukupolven Ga-FIB:stä, toisen sukupolven FIB/SEM-hybridiin ja kolmannen sukupolven selektiiviseen ionilähteeseen. Lisäksi tarkastelen FIB:n moninaisia sovelluksia
laboratorio- ja teollisuusympäristössä, nyt ja tulevaisuudessa. Tämä tutkielma on
kirjallisuuskatsaus ja se on tarkoitettu avuksi syvemmän tutkimuksen valmisteluun
aiheesta kiinnostuneille.
FIB:n pääasiallisia käyttökohteita ovat TEM-näytteenvalmistus ja mikropiirien
virheanalyysi ja takaisinmallinnus. Toisen sukupolven kaksipylväslaitteistojen myötä voidaan samalla laitteella kuvantaa elektronisuihkulla ja työstää ionisuihkulla
näytettä samanaikaisesti. Tulevaisuudessa FIB:n uskotaan pystyvän yksittäisten atomien istutukseen ja sillä tulee olemaan yhä enemmän sovelluksia nano-optiikan ja
-magnetismin, sekä spinelektroniikan aloilla. Uusien kasvatus- ja jyrsintäprotokollien myötä FIB:llä voidaan kehittää nanoelektromekaanisten järjestelmien (NEMS)
prototyyppejä yhä nopeammin. FIB on viimeisen kahdenkymmenen vuoden aikana
vakiinnuttanut paikkansa niin tutkimus- kuin teollisessa käytössä ja parhaillaan
käyttöön otettavien selektiivisten ionilähteiden myötä sen käyttökohteet kasvavat
entisestään.
...
Focused ion beam (FIB) is nanoscale imaging and fabrication technique that is
similar in operation to scanning electron microscopy, except that it uses massive
ions instead of light electrons. In this thesis, I will discuss the development of the
FIB from first generation Ga-FIB to second generation FIB-SEM hybrids and third
generation selective ion sources. I will also examine its various present and future
applications in both laboratory and industrial settings. This thesis is a literature
review and it is intended to aid in further research preparation for those interested
in the subject.
FIB is primarily used in TEM sample preparation and microcircuit error analysis
and reverse engineering. With the advent of second generation dual beam systems,
the same instrument can image and fabricate a sample simultaneously using electron
and ion beams respectively. In the future, the FIB is believed to be able to implant
single atoms and it will have yet more applications in the fields of nano-optics, -
magnetism and spintronics. With emerging deposition and milling procedures, the
FIB will be able to develop prototypes for nanoelectromechanical systems (NEMS)
even faster. During the last twenty years, FIB has solidified its place in both research
and industrial use and its potential uses grow ever wider with the recent introduction
of selective ion sources.
...
Asiasanat
Metadata
Näytä kaikki kuvailutiedotKokoelmat
- Kandidaatintutkielmat [5305]
Samankaltainen aineisto
Näytetään aineistoja, joilla on samankaltainen nimeke tai asiasanat.
-
Plasman diamagnetismi ECR-ionilähteessä
Väisänen, Antti (2009)Tässä tutkielmassa pyritään esittämään teoreettiset lähtökohdat plasman diamagneettisen ilmiön kuvaamiselle magnetohydrodynamiikan avulla. Teoreettisessa osiossa määritellään mitä plasma on ja johdetaan plasmalle karakteristiset ... -
Mikroaalloilla lämmitetyn vetyplasman emittoiman valon aiheuttama fotoelektroniemissio metallipinnoilla
Laulainen, Janne (2013) -
LIISA-ionilähteen vetyplasman VUV-spektrin ja H ̄ -ionisuihkun intensiteetin korrelaatio
Lätti, Sakari (2016)Tässä työssä tutkitaan negatiivisen vetyionilähteen plasman tuottaman ultraviolettisäteilyn ja ionilähteen tuottaman negatiivisen vetyionisuihkun intensiteetin välistä korrelaatiota. Työssä löydettiin korrelaatio VUV-spektrin ... -
MicroAlphatrossmikroaaltoionilähde ja sen ekstraktion tutkiminen simulaatioiden avulla
Kivekäs, Mikko (2020)Tutkielmassani käsittelen uutta mikroaaltoionilähdettä MicroAlphatrossia ja tutkin simulaatioiden avulla ratkaisumahdollisuuksia ekstraktiojärjestelmässä ilmenneisiin ongelmiin. MicroAlphatross on Pelletron-kiihdyttimelle ... -
Mikroaaltoionilähteen magneettikentän vaikutus suihkun laatuun
Kosonen, Sami (2019)Pro gradu -tutkielmassa selvitettiin, kuinka mikroaaltonilähteen magneettikenttäkonfiguraatio vaikuttaa ionilähteen suorituskykyyn. Suorituskyvynmittarina käytettiin tuotetun suihkun määrää sekä sen laatua eli emittanssia. ...
Ellei toisin mainittu, julkisesti saatavilla olevia JYX-metatietoja (poislukien tiivistelmät) saa vapaasti uudelleenkäyttää CC0-lisenssillä.