Ohutpinnoitekalvojen paksuuden mittaus hyperspektrikuvantamisella

Abstract

Ohutpinnoitekalvoja käytetään eri teollisuuden aloilla muun muassa optisiin tarkoituksiin ja suojakerroksina. Hyperspektrikuvantamisessa mitataan sähkömagneettisen spektrin voimakkuutta usealla eri aallonpituudella. Hyperspektrikuvakuution sisältämän valtavan datamäärän takia hyperspektrikuvantamista voidaan hyödyntää useisiin eri tutkimustarkoituksiin. Tutkielmassa tutkittiin valon transmissiota ja reflektanssia ja pyrittiin kehittämään menetelmä, jolla ohutpinnoitekalvojen paksuuksia voisi mitata. Tutkimustulokset ovat tässä suuntaa-antavia, ja jatkotutkimusta menetelmän kehittämiseksi tarvitaan. Luotettavaa mallia pinnoitteiden paksuuden mittaamiseen ei onnistuttu kehittämään.