| dc.contributor.author | Lammentausta, Eveliina | |
| dc.date.accessioned | 2023-11-05T21:26:39Z | |
| dc.date.available | 2023-11-05T21:26:39Z | |
| dc.date.issued | 2004 | |
| dc.identifier.uri | https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/91715 | |
| dc.format.extent | lehteä : kuvitettu + liitelehteä | |
| dc.language.iso | fi | |
| dc.title | Metalli-ionisuihkujen tuottaminen ECR-ionilähteellä sputterointimenetelmän avulla | |
| dc.identifier.urn | URN:NBN:fi:jyu-202311057730 | |
| dc.type.ontasot | Pro gradu | fi |
| dc.type.ontasot | Master's thesis | en |
| dc.contributor.laitos | Fysiikan laitos | |
| dc.contributor.yliopisto | University of Jyväskylä | en |
| dc.contributor.yliopisto | Jyväskylän yliopisto | fi |
| dc.rights.copyright | Julkaisu on tekijänoikeussäännösten alainen. Teosta voi lukea ja tulostaa henkilökohtaista käyttöä varten Käyttö kaupallisiin tarkoituksiin on kielletty. | fi |
| dc.rights.copyright | This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited. | en |
| dc.rights.accesslevel | restrictedAccess | fi |
| dc.contributor.oppiainekoodi | 402 | |
| dc.rights.accessrights | Aineistoon pääsyä on rajoitettu tekijänoikeussyistä. Aineisto on luettavissa Jyväskylän yliopiston kirjaston arkistotyöasemalta. Ks. https://kirjasto.jyu.fi/kokoelmat/arkistotyoasema. | fi |
| dc.rights.accessrights | This material has a restricted access due to copyright reasons. It can be read at the workstation at Jyväskylä University Library reserved for the use of archival materials: https://kirjasto.jyu.fi/collections/archival-workstation. | en |
