Atomikerroskasvatuksen ymmärrys molekyylitasolla
Tutkielmassa käydään lyhyesti läpi atomikerroskasvatuksen historia, mitä se on ja sivutaan myös sen käyttökohteita. Atomikerroskasvatus on teollisessa mittakaavassa merkittävä sovellus ja sen käyttökohteiden määrä kasvaa entisestään. Pääosin keskitytään kahden yleisimmin käytetyn yhdisteen, alumiinioksidin Al2O3 ja hafniumoksidin HfO2, kasvatukseen, niiden reaktiomekanismeihin ja siihen kuinka reaktiomekanismit on saatu selville. Kronologinen läpileikkaus alkaen ensimmäisistä tehdyistä reaktioista aina viimeisimpiin ominaisuuksien selvittämistä koskeviin ja atomitason reaktioita kuvaaviin tutkimustuloksiin antaa yleiskuvan siitä kuinka monipuolisesta teknologiasta on kysymys. Tutkielmassa korostuu myös laskennallisen ja kokeellisen datan yhteensovittamisen tärkeys ja se, miten paljon tutkimustyötä joudutaan tekemään, jotta saadaan edes jossain määrin tarkka kuva siitä, mitä pinnalla tapahtuu kun kaksi lähtöainetta reagoi keskenään peräkkäisissä sykleissä. Laskennallinen tutkimus nousee tutkielmassa hieman vahvemmin esiin. Pääpaino on alumiinioksidille ja hafniumoksidille suoritetuissa laskuissa tiheysfunktionaaliteorialla. Tutkielman lopussa on oma kappaleensa muille laskennallisille menetelmille kuin ab initio, keskittyen siihen miten niitä on käytetty atomikerroskasvatuksen tutkimiseen.
...
Metadata
Show full item recordCollections
- Pro gradu -tutkielmat [29106]
Related items
Showing items with similar title or keywords.
-
Johdatus kemiallisten siirtymien kvanttimekaaniseen laskemiseen
Martonen, Henri (2019)Orgaanisten yhdisteiden rakenteen määritykseen on olemassa useita eri tekniikoita, joista ydinmagneettinen resonanssispektroskopia (NMR, nuclear magnetic resonance spectroscopy) on yksi tärkeimmistä. Pienten ja yksinkertaisten ... -
Experimental and computational studies of unconventional main group compounds : stable radicals and reactive intermediates
Hurmalainen, Juha (University of Jyväskylä, 2017)Ever since their discovery, radicals have intrigued the minds of experimental and theoretical chemists alike. While the vast majority of radicals are transient species, a large number of stable and persistent radicals ... -
Vibrational Spectrum of HXeSH revisited : Combined computational and experimental study
Cukras, Janusz; Ahokas, Jussi M.E.; Lundell, Jan (Elsevier, 2020)Vibrational spectrum of HXeSH embedded in low-temperature matrix is experimentally studied. To support the spectrum interpretation, anharmonic vibrational analysis is performed using different models and basis sets and the ... -
Structure and IR Spectroscopic Properties of HNCO Complexes with SO2 Isolated in Solid Argon
Krupa, Justyna; Wierzejewska, Maria; Lundell, Jan (MDPI AG, 2021)FTIR spectroscopy was combined with the matrix isolation technique and quantum chemical calculations with the aim of studying complexes of isocyanic acid with sulfur dioxide. The structures of the HNCO⋯SO2 complexes of ... -
Matrix Isolation FTIR and Theoretical Study of Weakly Bound Complexes of Isocyanic Acid with Nitrogen
Krupa, Justyna; Wierzejewska, Maria; Lundell, Jan (MDPI AG, 2022)Weak complexes of isocyanic acid (HNCO) with nitrogen were studied computationally employing MP2, B2PLYPD3 and B3LYPD3 methods and experimentally by FTIR matrix isolation technique. The results show that HNCO interacts ...