Näytä suppeat kuvailutiedot

dc.contributor.authorGorelick, Sergey
dc.date.accessioned2008-09-16T10:38:08Z
dc.date.available2008-09-16T10:38:08Z
dc.date.issued2008
dc.identifier.isbn978-951-39-3318-0
dc.identifier.otheroai:jykdok.linneanet.fi:1069270
dc.identifier.urihttps://jyx.jyu.fi/handle/123456789/18901
dc.description.abstract en
dc.format.extent65 sivua
dc.language.isoeng
dc.publisherUniversity of Jyväskylä
dc.relation.ispartofseriesResearch report / Department of Physics, University of Jyväskylä
dc.relation.isversionofISBN 978-951-39-3317-3
dc.titleMeV ion beam lithography of high aspect ratio structures with a focused or aperture-shaped beam for applications in biomedical studies and microfluidics
dc.typeDiss.
dc.identifier.urnURN:ISBN:978-951-39-3318-0
dc.type.dcmitypeTexten
dc.type.ontasotVäitöskirjafi
dc.type.ontasotDoctoral dissertationen
dc.contributor.tiedekuntaMatemaattis-luonnontieteellinen tiedekuntafi
dc.contributor.tiedekuntaFaculty of Mathematics and Scienceen
dc.contributor.yliopistoUniversity of Jyväskyläen
dc.contributor.yliopistoJyväskylän yliopistofi
dc.contributor.oppiaineFysiikkafi
dc.relation.issn0075-465X
dc.relation.numberinseries9/2008
dc.rights.accesslevelopenAccessfi
dc.subject.ysofysiikka


Aineistoon kuuluvat tiedostot

Thumbnail

Aineisto kuuluu seuraaviin kokoelmiin

Näytä suppeat kuvailutiedot